阿尔卑斯电气开发出了利用压电电阻的小型超薄压力传感器“HSPP”系列。分为以真空状态为标准进行检测的绝对压力检测用产品,以及以大气压为基准进行检测的表压检测用产品。绝对压力检测用产品的外形尺寸为4.5mm×4.5mm×高1.0mm,表压检测用产品的外形尺寸为7.0mm×7.0mm×高8.0mm,均实现了小型、薄型化。可以用于检测PND(personal navigation device)等便携式产品,以及洗衣机、洗碗机等白家电的气压和空气压。
压力检测的原理如下。新产品在隔膜上形成压电电阻层。隔膜因外部压力弯曲时,能够把隔膜上压电电阻形变产生的电阻变化作为电信号读取。通过数字电路和温度补偿电路的优化,实现了0.01kPa的分辨率。
新产品工作温度范围为-40~+85℃。电源电压为2.7~5.5V。电源电压为5V时,输出电压为0~5.0V。测定压力范围方面,绝对压力检测用产品为60~110kPa,表压检测用产品为±5kPa。
样品供货将于2007年11月开始。样品价格为3000日元。该公司预定在2008年10月形成月产100万个的生产体制。