台积电和三星都投资了5nm工艺的量产。前者的OEM产品包括Apple A14，M1，华为麒麟9000等，而后者包括Exynos1080和传闻中的骁龙875。实际上，自7纳米以来，台积电和三星就开始引入EUV光刻，但是该过程中的层数相对较小。根据ASML（ASML），在迭代到5nm之后，EUV层的数量达到14层，包括但不限于接触，过孔和关键金属层之类的过程。将来，3nm和2nm将会更多地依赖EUV。作为目前唯一能够生产EUV光刻机的荷兰ASML，即使单价达到1.2亿欧元（约合9.4亿元人民币），它也自然成为台积电和三星的热销蛋糕。根据Digitimes的最新报告，台积电已向ASML订购了至少13台EUV光刻机，将于明年生产。简单估算一下，支出就超过了120亿人民币。应当理解，EUV光刻机不能用金钱购买，因为ASML的年生产能力非常有限。 2019年全年仅出货26台，今年上半年出货13台。运送了23个单位。此外，ASML计划在明年年中交付最新一代的EUV光刻机TWINSCANNXE：3600D。生产效率提高了18％，机器匹配和套准精度提高到1.1nm。如果没有意外，台积电应该是第一批客户。负责编辑AJX