低温多晶硅工艺使用准分子激光作为热源。在激光束通过投影系统之后,产生具有均匀能量分布的激光束,其被投射到非晶锗结构的玻璃基板上。
当非晶锗结构玻璃基板吸收准分子后,在激光能量之后,它将被转换成多晶硅结构。由于整个过程在600℃以下完成,因此可以应用普通的玻璃基板。
将驱动器IC的外围电路集成到面板基板上更为可行。 2.反应速度快,外观尺寸小,连接和部件少; 3.面板系统设计更简单; 4.面板稳定。
更性; 5,分辨率更高。低温多晶硅技术的主要特征是改变液晶结构,以改善传统非晶锗液晶技术的性能并降低制造成本。
由于LTPS技术可以将电子迁移率提高200(cm2 / V-sec),因此有利于TFT元件的小型化并增加面板孔径比,从而提高显示亮度并降低功耗率。此外,低温工艺有利于玻璃基板的使用,这可以大大降低生产成本。
低温多晶硅面板的主要制造商是三洋,东芝,松下,ST-LCD,富士通,精工爱普生和索尼。目前,低温多晶硅面板可用于便携式信息产品,数码相机,监视器,投影仪等。
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